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日本nasgiken硅片晶圓表面金屬污染回收裝置 簡易型用于 硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓 表面/側(cè)面 納米級金屬污染物 的 半自動微量回收

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日本NAS技研半導(dǎo)體晶圓金屬污染物回收裝置 可一次性回收硅晶圓表面及側(cè)面附著的微量金屬污染物。 回收夾具具備自清洗功能，可將人為污染風(fēng)險降至低，并保持分析精度一致。 同樣適用于化合物半導(dǎo)體晶圓。

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