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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display





晶圓納米級金屬污染物半自動微量回收裝置用于 硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓 表面/側(cè)面 納米級金屬污染物 的 半自動微量回收
產(chǎn)品型號:SC-9200
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
更新時間:2025-12-31
訪 問 量:5
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聯(lián)系電話:13823182047
晶圓納米級金屬污染物半自動微量回收裝置
晶圓納米級金屬污染物半自動微量回收裝置
| 功能 | 說明 |
|---|---|
| 自動保持具清洗 | 回收液槽與吸頭每次循環(huán)自動沖洗,消除交叉污染 |
| 上吸式液回收 | 通過負(fù)壓將取樣液 精確吸回,殘留量 < 1 µL |
| 多種取樣圖形 | 標(biāo)配:環(huán)狀、扇形、固定半徑、弧段;可選:側(cè)面(倒角)、矩形、弓形 |
| 全自動流程 | ①裝夾 → ②供液 → ③取樣 → ④回收 → ⑤清洗,一鍵完成 |
| 高潔凈設(shè)計 | 整機(jī)可置于 潔凈臺(Clean Draft) 內(nèi)使用;與晶圓接觸部分 PFA/PTFE 材質(zhì) |
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 適用晶圓 | 2–8 inch(可兼容缺口/平邊) |
| 取樣面積 | 最小 Φ 1 mm 環(huán)帶, 全表面 |
| 回收液體積 | 50–500 µL(可調(diào),閉環(huán)體積校準(zhǔn)) |
| 取樣時間 | 典型 30 s/片(含清洗) |
| 電源 | AC 100–240 V 50/60 Hz 200 W |
| 公用介質(zhì) | 純水(DIW)、氮?dú)猓∟?)、潔凈空氣(CDA) |
| 外形/重量 | 690 × 550 × 790 mm / 55 kg |
| 控制方式 | 外接 PC(Windows),圖形界面;可導(dǎo)出 CSV/Excel |
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002