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日本ekusa半導體藥液清洗機專用在線加熱器

日本ekusa半導體藥液清洗機專用在線加熱器
ECN型藥液加熱器是一款專為半導體藥液清洗裝置設計的在線加熱設備。采用全PFA材質接液部，確保藥液在加熱過程中保持高純度，同時具有優(yōu)異的可靠性和維護性。

產品型號：ECN-60P
廠商性質：經銷商
更新時間：2026-02-07
訪問量：59

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詳細介紹

日本ekusa半導體藥液清洗機專用在線加熱器

ECN型藥液加熱器是一款專為半導體藥液清洗裝置設計的在線加熱設備。采用全PFA材質接液部，確保藥液在加熱過程中保持高純度，同時具有優(yōu)異的可靠性和維護性。

核心特點

1. 高純度性

接液部全PFA材質：所有與液體接觸部件均采用PFA（全氟烷氧基樹脂）
無雜質溶出：確保藥液純度不受污染
低溫加熱器設計：不會導致藥液劣化
耐堿性：對堿性藥液也具有優(yōu)異的耐腐蝕性，不會劣化

2. 可靠性

使用壓力：0.4MPa
使用溫度：

標準品：80°C
特殊規(guī)格：可制作至120°C

內置過熱報警傳感器：安全監(jiān)控
急停溫度控制：停電等緊急停機時，溫度上升僅約10°C，高溫使用也安心
內置漏水傳感器：及時檢測泄漏
抗流動波動和沖擊：適應工藝波動

3. 維護性

加熱器：采用低溫設計，無需更換加熱器
超緊湊型設計：安裝簡便
電氣控制兼容：可有效利用現(xiàn)有控制系統(tǒng)

核心參數(shù)總結

參數(shù)	規(guī)格
型號	ECN型
用途	半導體藥液清洗裝置在線加熱
接液部材質	全PFA
使用壓力	0.4MPa
使用溫度	80°C（標準）/ 120°C（特殊規(guī)格）
加熱器類型	低溫設計
安全功能	過熱報警傳感器、漏水傳感器
急停溫升	約10°C
尺寸	超緊湊型
控制方式	可兼容現(xiàn)有電氣控制系統(tǒng)

核心優(yōu)勢提煉

維度	核心價值
材料純度	全PFA接液部，無金屬離子污染
化學兼容性	耐堿性藥液，無劣化
溫度范圍	標準80°C，可擴展至120°C
安全設計	雙傳感器監(jiān)控（過熱+漏水），急停低升溫
運行可靠性	0.4MPa耐壓，抗流動波動
維護成本	加熱器免更換，幾乎零維護
安裝便利	超緊湊設計，節(jié)省空間
系統(tǒng)兼容	可利用現(xiàn)有控制系統(tǒng)

典型應用場景

半導體清洗：SC-1、SC-2等標準清洗液加熱
堿性藥液：氨水、氫氧化鉀等堿性溶液加熱
高純度化學品：電子級藥液恒溫控制
濕法刻蝕：刻蝕液溫度控制
剝離工藝：光刻膠剝離液加熱

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日本ekusa半導體藥液清洗機專用在線加熱器

核心特點

1. 高純度性

2. 可靠性

3. 維護性

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