日本ekusa氟樹脂制 半導(dǎo)體超純水在線加熱器

日本ekusa氟樹脂制 半導(dǎo)體超純水在線加熱器

核心特點(diǎn)

1. 高純度性

• 接液部全PFA材質(zhì)：所有與液體接觸部件均采用PFA（全氟烷氧基樹脂）
• 無雜質(zhì)溶出：確保超純水純度不受污染
• 低溫設(shè)計(jì)加熱器：延長使用壽命
• 兼容氟酸水：可處理含液體

2. 可靠性

• 常用使用壓力：0.4MPa
• 無雜質(zhì)溶出：保證水質(zhì)純凈
• 低溫設(shè)計(jì)加熱器：實(shí)現(xiàn)長壽命運(yùn)行
• 氟酸水適用：耐腐蝕性強(qiáng)

3. 維護(hù)性

• 加熱器：采用低溫設(shè)計(jì)，無需更換加熱器
• 緊湊型設(shè)計(jì)：安裝簡便
• 遠(yuǎn)程控制：支持遠(yuǎn)程操作和監(jiān)控

核心優(yōu)勢

典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體制造：超純水加熱、清洗液加熱
• 電子工業(yè)：高純度化學(xué)品加熱
• 化工領(lǐng)域：氟酸水等腐蝕性液體加熱
• 制藥行業(yè)：高純度溶劑加熱
• 實(shí)驗(yàn)室：超純水及特殊化學(xué)品加熱

技術(shù)亮點(diǎn)總結(jié)

1. 高純度：PFA材質(zhì)確保無污染
2. 高可靠：低溫設(shè)計(jì)+耐壓結(jié)構(gòu)
3. 高維護(hù)性：免更換加熱器+遠(yuǎn)程控制