日本techvision半導(dǎo)體晶圓紫外線臭氧清洗機(jī)

日本techvision半導(dǎo)體晶圓紫外線臭氧清洗機(jī)
UV-208 是一款紫外線臭氧清洗裝置，通過(guò)照射特定波長(zhǎng)的紫外線產(chǎn)生臭氧（O?），利用生成的臭氧氧化分解有機(jī)化合物，從而去除工件表面的有機(jī)物污染并進(jìn)行表面改性。

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日本techvision半導(dǎo)體晶圓紫外線臭氧清洗機(jī)

UV-208 是一款紫外線臭氧清洗裝置，通過(guò)照射特定波長(zhǎng)的紫外線產(chǎn)生臭氧（O?），利用生成的臭氧氧化分解有機(jī)化合物，從而去除工件表面的有機(jī)物污染并進(jìn)行表面改性。

技術(shù)原理

表面去污：去除疏水性污染物
表面改性：將表面從疏水性轉(zhuǎn)變?yōu)?span style="font-family: inherit; scrollbar-color: transparent transparent; margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 600; font-stretch: inherit; font-size: inherit; line-height: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-size-adjust: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; vertical-align: baseline;">親水性（水滴擴(kuò)散展開(kāi)）
附著力提升：潤(rùn)濕性改善可提高后續(xù)工藝的密著性

效果驗(yàn)證（通過(guò)接觸角θ變化確認(rèn)）：

維度	核心要點(diǎn)
產(chǎn)品定位	半導(dǎo)體/精密制造領(lǐng)域的表面清洗與改性設(shè)備
技術(shù)核心	高密度網(wǎng)格低壓汞燈 + 紫外線臭氧協(xié)同作用
核心優(yōu)勢(shì)	照射均勻、省空間、操作簡(jiǎn)便、雙面兼容
主要效果	去除有機(jī)污染 + 親水性改性 + 提升附著力
適用場(chǎng)景	晶圓、玻璃基板、精密零件等表面處理
規(guī)格亮點(diǎn)	206×206mm照射區(qū)、28kg輕量化、桌面式設(shè)計(jì)

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