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日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺式UV固化照射器

日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺式UV固化照射器
這是一款用于半導(dǎo)體晶圓等工件UV照射固化的桌面式設(shè)備，采用LED冷光源技術(shù)，具有不傷工件、壽命長、啟動快等特點，適用于8英寸和12英寸兩種規(guī)格。

產(chǎn)品型號：UVC-200／300
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2026-02-06
訪問量：54

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詳細介紹

日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺式UV固化照射器

采用LED（發(fā)光二極管）作為UV照射光源的LED UV薄膜固化裝置。

相比傳統(tǒng)裝置（高壓水銀燈或金屬鹵化物光源），也能發(fā)揮充分的固化性能（固化狀態(tài)、固化速度）。

?? 核心技術(shù)

高出力LED驅(qū)動器

Techno Vision獨自開發(fā)的高出力LED驅(qū)動器
實現(xiàn)250mW/cm2的照射輸出（工作距離10mm）

照射方式

光源部進行往復(fù)掃描
同時對工件進行均勻照射

?? LED光源的優(yōu)勢

優(yōu)勢	說明
常溫照射	減少LED的常溫照射對工件的熱損傷
低功耗	比傳統(tǒng)光源大幅降低電力消耗
長壽命	LED光源壽命遠超水銀燈
更換安全	光源更換時無汞污染風(fēng)險，更安全

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：光刻膠低溫固化、熱敏感材料處理
封裝：對溫度敏感的薄膜固化
柔性電子：塑料基板等不耐熱材料的UV固化
MEMS制造：熱敏感結(jié)構(gòu)件的樹脂固化
化合物半導(dǎo)體：GaAs、GaN等對熱敏感的晶圓處理

UV固化設(shè)備規(guī)格

型號	工件尺寸	裝置尺寸
UVC-200	對應(yīng)200mm/8英寸	750mm（寬）× 640mm（深）× 575mm（高）
UVC-300	對應(yīng)300mm/12英寸	750mm（寬）× 640mm（深）× 575mm（高）

特點

序號	特點
1	常溫照射，降低對工件的損傷
2	LED長壽命特性
3	瞬時啟動，提高作業(yè)效率

功能

序號	功能
1	高輸出功率照射
2	采用高輸出驅(qū)動器
3	消除照度不均
4	采用365nm波長，兼容所有UV膠帶
5	內(nèi)置低流量自動氮氣吹掃功能
6	小型、輕量化、桌面式設(shè)計

產(chǎn)品概述：這是一款用于半導(dǎo)體晶圓等工件UV照射固化的桌面式設(shè)備，采用LED冷光源技術(shù)，具有不傷工件、壽命長、啟動快等特點，適用于8英寸和12英寸兩種規(guī)格。

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日本techvision半導(dǎo)體晶圓臺式UV固化照射器

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