日本showa遠(yuǎn)紅外線放射式高潔凈陶瓷加熱器

日本showa遠(yuǎn)紅外線放射式高潔凈陶瓷加熱器

陶瓷加熱器（Ceramics Heater）

核心參數(shù)

?? 升溫曲線實測數(shù)據(jù)

? 產(chǎn)品特點

1. 采用高性能遠(yuǎn)紅外線高效率放射體

溫度分布（實測示例）

2. 優(yōu)異的耐熱沖擊性

• 遠(yuǎn)紅外線高效率放射體熱膨脹系數(shù)（30～380℃）：8.5×10?? /℃
• 耐熱沖擊強(qiáng)度：T級

3. 高潔凈度

Class 10：每立方英尺空氣中≥0.5μm的顆粒數(shù)≤10個，屬于高潔凈環(huán)境。

4. 簡單發(fā)熱結(jié)構(gòu)實現(xiàn)快速升溫

5. 不銹鋼箔電阻體實現(xiàn)自由溫度控制

6. 精選高性能遠(yuǎn)紅外線高效率放射體

• 測定裝置：FTIR-SMP、標(biāo)準(zhǔn)黑體爐WS-153
• 測定溫度：300℃
• 結(jié)果：在2.5～25μm波段，放射率普遍>80%，峰值接近100%

• 
  

 適用場景

• 半導(dǎo)體制造：晶圓烘烤、光刻膠固化（需要Class 10潔凈度）
• LCD/OLED面板制造：基板加熱、干燥
• 光伏產(chǎn)業(yè)：硅片熱處理
• 印刷電路板：阻焊膜干燥
• 食品/醫(yī)藥：需要遠(yuǎn)紅外均勻加熱的干燥工藝
• 大面積均勻加熱：800×1000mm加熱區(qū)域