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產(chǎn)品展示/ Product display
日本KAGATECHNO刻蝕光刻膠剝離在線加熱器熱效率高，實現(xiàn)長壽命在線加熱，高潔凈度，接液部為高純度石英玻璃，無金屬離子溶出，不影響半導體器件
產(chǎn)品型號：廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2026-02-06訪 問 量：39
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日本KAGATECHNO刻蝕光刻膠剝離在線加熱器
日本KAGATECHNO刻蝕光刻膠剝離在線加熱器
| 特點 | 詳細說明 |
|---|---|
| 耐久性 | 尤其在氮化物蝕刻（Nitride Etching）和SC-1清洗工藝中表現(xiàn)出眾的長壽命實績 |
| 加熱元件 | 采用Inconel（英科奈爾/鎳鉻鐵合金）加熱器，解決傳統(tǒng)空燒斷線和氣泡積聚斷線問題 |
| 高效加熱 | 熱效率高，實現(xiàn)長壽命在線加熱 |
| 結構優(yōu)勢 | 網(wǎng)目狀加熱元件直接粘合在石英筒外表面，無剝離、無縫隙、無斷線風險 |
| 高潔凈度 | 接液部為高純度石英玻璃，無金屬離子溶出，不影響半導體器件 |
| 無積液設計 | 結構簡單，無液體滯留死角 |
| 阻燃外殼 | 采用阻燃性優(yōu)異的FrPP（自熄性聚丙烯） |
| 安全保護 | 配備Inconel加熱器溫度檢測的過熱防止安全機構 |
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 加熱器功率 | 2.2kW / 4.4kW / 6.5kW |
| 電源 | 單相200V |
| 使用溫度范圍 | 室溫～160℃ |
| 適用藥液 | 氨水*混合物（SC-1）、磷酸等 |
| 連接方式 | 3/4英寸 石英擴口接頭（Flare Fitting） |
| 工藝環(huán)節(jié) | 具體應用 |
|---|---|
| 清洗工藝 | 擴散前處理等 |
| 蝕刻工藝 | 氮化物蝕刻（Nitride Etching） |
| 剝離工藝 | 光刻膠（Resist）剝離 |
| 其他 | 各種精密清洗工藝 |
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