日本tysei大成蝕刻液光刻膠剝離液脫氣裝置

日本tysei大成蝕刻液光刻膠剝離液脫氣裝置
半導(dǎo)體/FPD制造清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液的脫氣
分析與理化領(lǐng)域藥液、有機(jī)溶劑、酸、堿溶液的脫氣
各行業(yè)制造工藝藥液、清洗液、涂覆液、處理液的脫氣

聯(lián)系電話(huà)：13823182047

詳細(xì)介紹

日本tysei大成蝕刻液光刻膠剝離液脫氣裝置

Uni Tyflon® TY-55 系列

全氟樹(shù)脂脫氣模塊

這是一款在脫氣膜和所有接觸液體部件均采用氟樹(shù)脂的脫氣模塊。

外形尺寸	型號(hào)	類(lèi)型	流量范圍
Φ120×H120mm	TY-55010	低壓損型	≤20 ml/min
	TY-55025	標(biāo)準(zhǔn)型	≤50 ml/min
Φ120×H160mm	TY-55080	標(biāo)準(zhǔn)型	≤150 ml/min
	TY-55100	低壓損型	≤250 ml/min
Φ120×H240mm	TY-55250	標(biāo)準(zhǔn)型	≤500 ml/min

特征	說(shuō)明
全氟樹(shù)脂接液部	脫氣膜、端部、接合部全部采用PFA材質(zhì)，具有優(yōu)異的耐腐蝕性
圓柱形不銹鋼外殼	Φ120mm標(biāo)準(zhǔn)直徑，提供3種高度規(guī)格（120/160/240mm）
雙類(lèi)型設(shè)計(jì)	標(biāo)準(zhǔn)型：高膜容積，大流量脫氣低壓損型：低流阻設(shè)計(jì)，適合小流量精密應(yīng)用
統(tǒng)一接口規(guī)格	通液口：FAINALLOCK 1/4" 真空口：快插接頭 Φ6
耐壓耐溫	耐壓0.3MPa，使用溫度50℃
流量覆蓋廣	從20ml/min（低壓損型）到500ml/min（大型標(biāo)準(zhǔn)型）

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