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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置：首頁  /  產(chǎn)品展示  /  實驗設(shè)備  /  脫氣機  /  PF-03F/PF-06F半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置

半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置

半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置
主要用于半導(dǎo)體和液晶制造行業(yè)中的藥液脫氣處理
采用四氟乙烯樹脂（PTFE）制成的非多孔中空纖維膜
具有優(yōu)異的耐藥性、耐溶劑性和耐熱性
非多孔結(jié)構(gòu)確保藥液不會泄漏到真空側(cè)

  • 產(chǎn)品型號：PF-03F/PF-06F
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2026-01-05
  • 訪  問  量：91
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詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置

半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置

Teflon脫氣膜（テフロン脫気膜）應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于半導(dǎo)體和液晶制造行業(yè)中的藥液脫氣處理

產(chǎn)品特點

  1. 材料優(yōu)勢：
    • 采用四氟乙烯樹脂（PTFE）制成的非多孔中空纖維膜
    • 具有優(yōu)異的耐藥性、耐溶劑性和耐熱性
    • 非多孔結(jié)構(gòu)確保藥液不會泄漏到真空側(cè)
  2. 設(shè)計優(yōu)勢：
    • 通過增加非多孔中空纖維膜的數(shù)量來增大膜面積，實現(xiàn)緊湊設(shè)計
    • 采用不易折斷的非多孔中空纖維膜，耐久性優(yōu)異

主要用途

  • 半導(dǎo)體制造：顯影液、光刻膠、沖洗液、蝕刻液、電鍍液、超純水等的脫氣
  • 液晶制造：各種工藝藥液的脫氣處理
  • 精密涂布：精密涂布液、打印機用墨水等的脫氣
  • 測量設(shè)備：去除液中粒子計數(shù)器試料液的脫氣

技術(shù)背景

隨著半導(dǎo)體器件的微細(xì)化和LCD基板的大型化，對藥液中微氣泡去除的需求日益增長。該產(chǎn)品能夠：
  • 去除導(dǎo)致器件缺陷的微氣泡
  • 提高處理能力，支持300mm晶圓
  • 實現(xiàn)設(shè)備的小型化和配管簡化

脫氣原理

通過PTFE管狀氣體透過膜，利用管內(nèi)外氣體分壓差，將藥液中溶解的氣體去除。具體過程是將管外抽真空，產(chǎn)生分壓差，從而去除管內(nèi)藥液中的溶解氣體。
這是一款專為高精度電子制造工藝設(shè)計的專業(yè)脫氣設(shè)備，在半導(dǎo)體制程中起著關(guān)鍵作用。


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