日本k-matsumi半導(dǎo)體DMA納米粒子測(cè)量裝置

日本k-matsumi半導(dǎo)體DMA納米粒子測(cè)量裝置
氣溶膠先經(jīng)中和器帶已知電荷分布 → 進(jìn)入同軸圓柱形 DMA → 僅特定電遷移直徑粒子通過(guò)狹縫。
濃度計(jì)數(shù)
出 DMA 的 mono-mobile 粒子由 CNC（或 CPC）計(jì)數(shù) → 掃描電壓即可獲得 10 – 1000 nm 范圍內(nèi)的粒徑分布（dN/dlogDp）。
結(jié)果輸出
自動(dòng)生成個(gè)數(shù)濃度、表面積、體積、質(zhì)量分布及平均粒徑、眾數(shù)、幾

產(chǎn)品型號(hào)：DMA-20
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-12-29
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日本k-matsumi半導(dǎo)體DMA納米粒子測(cè)量裝置
日本k-matsumi半導(dǎo)體DMA納米粒子測(cè)量裝置

測(cè)量原理

電遷移分類
氣溶膠先經(jīng)中和器帶已知電荷分布 → 進(jìn)入同軸圓柱形 DMA → 僅特定電遷移直徑粒子通過(guò)狹縫。
濃度計(jì)數(shù)
出 DMA 的 mono-mobile 粒子由 CNC（或 CPC）計(jì)數(shù) → 掃描電壓即可獲得 10 – 1000 nm 范圍內(nèi)的粒徑分布（dN/dlogDp）。
結(jié)果輸出
自動(dòng)生成個(gè)數(shù)濃度、表面積、體積、質(zhì)量分布及平均粒徑、眾數(shù)、幾何標(biāo)準(zhǔn)偏差。

3. 關(guān)鍵規(guī)格

項(xiàng)目	規(guī)格
粒徑范圍	10 nm – 1000 nm（單級(jí) DMA）
分辨率	64 – 256 通道 / 十倍程可選
濃度上限	10? 粒子/cm3（與稀釋器聯(lián)用可擴(kuò)至 10?）
采樣流量	0.3 – 2 L/min 自動(dòng)恒流
電壓掃描	10 – 10 000 V，線性或?qū)?shù)掃描 ≤ 60 s
重現(xiàn)性	計(jì)數(shù)濃度 ±5 %，粒徑 ±2 %
數(shù)據(jù)接口	USB-C + 模擬 0 – 10 V 輸出；附日文/英文軟件

4. 系統(tǒng)構(gòu)成

中和器：Kr-85 或 X-ray 型（低維護(hù)）
DMA 主機(jī)：不銹鋼電極，可拆式狹縫，便于清洗
CNC/CPC：內(nèi)置光學(xué)計(jì)數(shù)器，可擴(kuò)展 2.5 nm 下限
稀釋器（可選）：旋轉(zhuǎn)盤式，稀釋比 1:10 – 1:1000
軟件：Windows 11 對(duì)應(yīng)，一鍵生成 CSV、ASCII、BMP 報(bào)告

5. 典型應(yīng)用

領(lǐng)域	測(cè)量對(duì)象
半導(dǎo)體	CMP 研磨液、晶圓清洗液中的納米顆粒；潔凈室氣溶膠監(jiān)控
汽車/電池	發(fā)動(dòng)機(jī)排氣、EV 電池干法電極粉塵
醫(yī)藥/化妝品	噴霧劑、吸入粉體、脂質(zhì)體粒徑
環(huán)境	大氣納米顆粒、煙道 PM1.0、超細(xì)顆粒物源解析
功能材料	金屬納米膠體、量子點(diǎn)、陶瓷漿料

6. 特色與優(yōu)勢(shì)

狹縫可拆：30 s 完成維護(hù)，避免交叉污染
低死體積：響應(yīng)時(shí)間 < 3 s，適合在線快速切換
寬濃度兼容：自帶雙稀釋器自動(dòng)切換，無(wú)需手動(dòng)稀釋

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測(cè)量原理

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