韓國(guó)PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器

韓國(guó)PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器
DF 系列擴(kuò)散器通過(guò)多孔金屬燒結(jié)濾芯將高速氣流瞬間分散成低速、均勻、低湍流的氣體云，從而顯著降低顆粒產(chǎn)生和壓力沖擊，是半導(dǎo)體廠高產(chǎn)出、低缺陷率的關(guān)鍵部件之一。

產(chǎn)品型號(hào)：DF系列
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-12-29
訪問(wèn) 量：37

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韓國(guó)PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器
韓國(guó)PlayTG半導(dǎo)體高純度氣體輸送擴(kuò)散器

產(chǎn)品名稱：BIKAL™ DF系列高純度氣體擴(kuò)散器
產(chǎn)品類型：氣體擴(kuò)散器（Gas Diffuser）
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體和顯示制造工藝中的氣體輸送系統(tǒng)

主要功能與優(yōu)勢(shì)

快速排氣擴(kuò)散 – 縮短腔體抽真空/通氣時(shí)間，提高產(chǎn)能
高純度設(shè)計(jì) – 所有潤(rùn)濕表面電解拋光，顆粒析出極低
低壓損 – 特殊流道設(shè)計(jì)，保證大流量同時(shí)壓降最小
結(jié)構(gòu)緊湊 – 可直接安裝在氣柜或腔體入口，節(jié)省空間
高可靠性 – 全金屬密封，氦檢漏 ≤1×10?? cc/sec

技術(shù)規(guī)格（公稱值）

項(xiàng)目	規(guī)格
潤(rùn)濕材料	316L EP 管 + 316L 不銹鋼燒結(jié)濾芯
表面處理	內(nèi)部 Ra ≤5 μin（電解拋光）
工作壓力	1 MPa（@20 ℃）
工作溫度	200 ℃
過(guò)濾/擴(kuò)散等級(jí)	≥0.003 µm，9 LRV（99.9999999 %）
氦泄漏率	1×10?? cc/sec
接口類型	1/4"、3/8"、1/2" VCR 或 SWG 可選

典型型號(hào)與尺寸（單位：mm）

型號(hào)	A	B	C	D	E	接口
DFV4-025-84	84	42.5	25.4	16	17	1/4" VCR
DFV4-038-84	84	44.6	38.1	23.8	17	3/8" VCR
DFV8-038-110	110	67.3	38.1	23.8	23.8	1/2" VCR

應(yīng)用場(chǎng)景

晶圓傳輸腔體（Loadlock）快速 vent
工藝腔體初始充氮或清潔干燥空氣
AMHS 設(shè)備內(nèi)微環(huán)境氣體均衡
任何需要“高速、低顆粒、低波動(dòng)"擴(kuò)散的超高純氣體節(jié)點(diǎn)

DF 系列擴(kuò)散器通過(guò)多孔金屬燒結(jié)濾芯將高速氣流瞬間分散成低速、均勻、低湍流的氣體云，從而顯著降低顆粒產(chǎn)生和壓力沖擊，是半導(dǎo)體廠高產(chǎn)出、低缺陷率的關(guān)鍵部件之一。

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