半導(dǎo)體部件磨拋加工無(wú)銅金屬結(jié)合劑砂輪

半導(dǎo)體部件磨拋加工無(wú)銅金屬結(jié)合劑砂輪
一種對(duì)銅、鋼含量進(jìn)行管控、無(wú)銅的金屬結(jié)合帶柄砂輪。
通過(guò)結(jié)合劑配方，在不使用銅的前提下，仍具備與青銅系結(jié)合劑同等的機(jī)械性能。
加工測(cè)試證實(shí)，其磨削性能與壽命均不遜于青銅系結(jié)合劑。
適用于對(duì)銅污染極為敏感的半導(dǎo)體前工序治具加工，可顯著抑制工件銅污染，減輕后續(xù)清洗與去除工序。

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更新時(shí)間：2025-12-11
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半導(dǎo)體部件磨拋加工無(wú)銅金屬結(jié)合劑砂輪
半導(dǎo)體部件磨拋加工無(wú)銅金屬結(jié)合劑砂輪

銅-free 金屬結(jié)合帶柄砂輪
一種對(duì)銅、鋼含量進(jìn)行管控、無(wú)銅的金屬結(jié)合帶柄砂輪。
通過(guò)結(jié)合劑配方，在不使用銅的前提下，仍具備與青銅系結(jié)合劑同等的機(jī)械性能。
加工測(cè)試證實(shí)，其磨削性能與壽命均不遜于青銅系結(jié)合劑。
適用于對(duì)銅污染極為敏感的半導(dǎo)體前工序治具加工，可顯著抑制工件銅污染，減輕后續(xù)清洗與去除工序。

銅-free 金屬結(jié)合輪測(cè)試加工條件
【測(cè)試加工條件】
機(jī)床：磨削中心
轉(zhuǎn)速：3 200 min?1
進(jìn)給速度：200 mm/min
切深：30 μm/pass
冷卻液：水溶性冷卻液
工件：SiC 陶瓷

【測(cè)試輪規(guī)格】
粒度：#50
尺寸：30D×10T×5W×6Y×40L

【可對(duì)應(yīng)帶柄輪尺寸/規(guī)格】（參考）
■ 外徑：≤φ50
■ 厚度：≤30 T
■ 總長(zhǎng)度：≤100 L
■ 粒度：#50 及以上

帶柄輪結(jié)合劑類型
金屬結(jié)合劑

應(yīng)用行業(yè)
半導(dǎo)體/半導(dǎo)體制造設(shè)備

加工材料
陶瓷

加工方式

磨削這是一款采用無(wú)銅金屬粘合軸輪設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，其內(nèi)部限制了銅和鋼材的使用，實(shí)現(xiàn)了真正的無(wú)銅化金屬粘合。
「カッパーフリー」輪轂通過(guò)獨(dú)特的結(jié)合劑配方，實(shí)現(xiàn)了無(wú)需使用銅卻擁有不遜色于青銅系結(jié)合劑的機(jī)械性能。
在加工測(cè)試中，它擁有與青銅結(jié)合劑不相上下的磨削性能和壽命。
通過(guò)使用無(wú)銅砂輪，特別適用于對(duì)銅污染敏感的半導(dǎo)體制程前段加工治具等場(chǎng)景，能有效抑制加工件上的銅污染，并減少后段清洗與去除工序的負(fù)擔(dān)。

與傳統(tǒng)青銅結(jié)合劑磨削阻力的比較

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