日本nikoha半導(dǎo)體等離子體CVD用微波電源

日本nikoha半導(dǎo)體等離子體CVD用微波電源
本裝置為微波等離子體CVD、微波ECR等離子體等半導(dǎo)體制造工藝中的微波電源。
產(chǎn)品覆蓋300 W至10 kW，具備高穩(wěn)定性與低紋波特性。

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日本nikoha半導(dǎo)體等離子體CVD用微波電源
日本nikoha半導(dǎo)體等離子體CVD用微波電源
本裝置為微波等離子體CVD、微波ECR等離子體等半導(dǎo)體制造工藝中的微波電源。產(chǎn)品覆蓋300 W至10 kW，具備高穩(wěn)定性與低紋波特性。

② 型號?功率?規(guī)格一覽

型式	頻率	額定輸出	所需電力	冷卻方式	外形 W×D×H (mm)	質(zhì)量
MKN-032	2450 MHz	120 W – 300 W	1.3 kVA 單相 AC200 V	電源+振蕩部強(qiáng)制空冷	480×500×199	25 kg
MKN-152-3S9	2450 MHz	150 W – 1.5 kW	3.1 kVA 單相 AC200 V	電源+振蕩部強(qiáng)制空冷	480×550×199	40 kg
MKN-202-3S8	2450 MHz	200 W – 2 kW	5 kVA 3相 AC200 V	電源強(qiáng)制空冷 + 振蕩部水冷	電源 480×500×299 振蕩部 300×310×280	電源 40 kg 振蕩部 30 kg
MKN-302-3S	2450 MHz	500 W – 3 kW	7 kVA 3相 AC200 V	電源強(qiáng)制空冷 + 振蕩部水冷	電源 480×600×409 振蕩部 340×270×270	電源 68 kg 振蕩部 20 kg
MKN-502-3S	2450 MHz	500 W – 5 kW	11 kVA 3相 AC200 V	電源強(qiáng)制空冷 + 振蕩部水冷	電源 480×600×409 振蕩部 370×270×270	電源 68 kg 振蕩部 25 kg

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