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日本active實驗型高速旋轉涂布機涂覆儀

日本active實驗型高速旋轉涂布機涂覆儀
一種將涂布液滴在平整基板中央后，通過高速旋轉產生的離心力，使其均勻鋪展成薄膜的裝置。
高精度?高速旋轉（最高 12 000 rpm）
標配帶聯(lián)鎖傳感器的安全蓋，開蓋即停

  • 產品型號：ACT-300AⅡ-HS
  • 廠商性質：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-11-20
  • 訪  問  量：72
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聯(lián)系電話：13823182047

詳細介紹

日本active實驗型高速旋轉涂布機涂覆儀
日本active實驗型高速旋轉涂布機涂覆儀
一種將涂布液滴在平整基板中央后，通過高速旋轉產生的離心力，使其均勻鋪展成薄膜的裝置。

可對應圓形基板最大φ150 mm、方形基板最大□110 mm。
機型：スピンコーター ACT-300AⅡ-HS（對應 φ150 mm）
高精度?高轉速スピンコーター（スピンコート機）
特征
  • 高精度?高速旋轉（最高 12 000 rpm）
  • 標配帶聯(lián)鎖傳感器的安全蓋，開蓋即停
  • 安全蓋設有滴液孔（帶滑動蓋），旋轉中也可追加滴液
  • 多段程序：10 步 × 100 組配方，可存儲
  • 可對應各種溶液的開發(fā)與評估
  • 可選配：Teflon涂層杯、自動滴液、氮氣吹掃等
用途
半導體、太陽能電池、移動終端、光學鏡片、眼鏡鏡片、納米技術與生物、住宅建材、醫(yī)療、液晶等顯示器，以及需要獲得涂膜/薄膜的實驗、研究、小批量生產。
基板尺寸
Φ5～Φ150mm（最大Φ6英寸、□110mm）對應基板
杯內徑
Φ300毫米
外形寸法（mm）
W400×D570×H410（安全罩關閉時，帶調節(jié)器可水平調整）
※因規(guī)格不同，僅供參考
電源
1Φ　100V－10A （交流伺服電機400W） 50／60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～12000轉/分鐘/±2轉/分鐘以下（負載時）
最高轉速的加速時間
12000轉/分鐘/2.5秒以下（根據(jù)負載可調整至最快速度）
基板吸著圧力
-70 ～ -80kPa
真空泵排氣量 12L/min以上
（裝置側 外徑Φ6管快速連接）


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