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日本technomu非接觸式晶圓薄膜厚度測量儀

日本technomu非接觸式晶圓薄膜厚度測量儀
是一款集“非接觸、高精度、自動判定、節(jié)省空間"于一體的新型薄膜厚度測量系統(tǒng)，特別適合12英寸以內(nèi)晶圓及薄膜的全自動在線檢測。

  • 產(chǎn)品型號：TTS3100
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-11-11
  • 訪  問  量：70
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聯(lián)系電話：13823182047

詳細(xì)介紹

日本technomu非接觸式晶圓薄膜厚度測量儀
日本technomu非接觸式晶圓薄膜厚度測量儀

TTS3100 非接觸精密厚度測量機
【功能概述】
采用光譜干涉式激光位移計，高精度測量晶圓厚度。
可分別測量硅基板上蒸鍍樹脂膜、PET 等薄膜厚度。
具備自動判定 OK/NG 的在線檢查功能。
【主要特點】
  • 支持最大 12 英寸晶圓的高精度測厚
  • 高速測量，適合量產(chǎn)全檢
  • 非接觸，無損傷風(fēng)險
  • 受材質(zhì)影響極小
  • 適用范圍廣：晶圓、金屬磨削件、透明玻璃等
  • 可預(yù)設(shè)判定閾值，自動輸出 OK/NG
  • 支持全自動、半自動及按工件尺寸定制
【規(guī)格要點】
  • 測量范圍：2 英寸 – 12 英寸以上
  • 測量方式：掃描式
  • 可用激光：光譜干涉、多激光同軸
  • 分辨率：最高 0.001 µm
專為薄膜/晶圓厚度測量設(shè)計的新型非接觸測厚系統(tǒng)

? 主要特點

  • 專為薄膜厚度測量優(yōu)化
  • 最大支持12英寸工件
  • 非接觸測量，不會損傷工件表面
  • 搭載X軸與旋轉(zhuǎn)軸平臺，實現(xiàn)測量
  • 自動判定OK/NG，適合在線全檢
  • 高精度且穩(wěn)定性強
  • 可測蒸鍍樹脂膜、PET等多種薄膜
  • 基距（傳感器間距）可調(diào)，適應(yīng)狹小空間高精度測量
  • 結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間
  • 自動生成管理報表，便于質(zhì)量追溯

? 應(yīng)用示例

  • 晶圓、玻璃、金屬研磨件表面薄膜厚度檢測
  • 透明/鏡面材料無損測厚
  • 量產(chǎn)線上自動判定合格品與不良品


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