日本SEM坂本電機(jī)晶圓測(cè)量有線式2軸水準(zhǔn)儀
日本SEM坂本電機(jī)晶圓測(cè)量有線式2軸水準(zhǔn)儀

1. 高精度數(shù)字水準(zhǔn)儀，適用于設(shè)備安裝、水平調(diào)校、長(zhǎng)期傾斜監(jiān)測(cè)等場(chǎng)合。
2. 主要技術(shù)指標(biāo)
• 分辨率：0.001 mm/m
• 測(cè)量范圍：±20 mm/m
• 重復(fù)精度：≤ ±0.003 mm/m（±3 µm/m）
• 溫漂：≤ 0.01 mm/m / 10 ℃
• 防護(hù)等級(jí)：IP65（防塵、防噴射水）
• 輸出方式：RS-232C 串口（標(biāo)配）
• 供電：DC 5 V（附帶 100-240 V AC 適配器）
• 工作溫度：0 – 50 ℃
• 外殼：陽(yáng)極氧化鋁，底部帶 3 個(gè) M6 安裝螺孔
• 尺寸：≈ 150 × 50 × 37 mm
• 重量：≈ 550 g
3. 功能亮點(diǎn)
• 實(shí)時(shí)數(shù)字顯示，讀數(shù)直觀，可切換 mm/m、arc-sec、μrad 單位。
• 連續(xù)輸出模式：最高 10 Hz，可直接接入 PC、PLC 或數(shù)據(jù)采集器。
• 零點(diǎn)任意設(shè)定：一鍵置零，方便相對(duì)測(cè)量。
• 保持/峰值保持：便于在狹窄空間先測(cè)量、后觀察。
• 低功耗：＜ 0.3 W，可改用移動(dòng)電源長(zhǎng)時(shí)間野外作業(yè)。
4. 典型應(yīng)用
• 加工中心、龍門(mén)銑、三坐標(biāo)、光刻機(jī)等精密機(jī)床的水平驗(yàn)收與補(bǔ)償。
• 半導(dǎo)體、液晶、光伏產(chǎn)線設(shè)備的安裝、調(diào)試、定期復(fù)校。
• 計(jì)量室、實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)、花崗巖平板的平面度/水平度監(jiān)測(cè)。
• 橋梁、軌道、大型天線等結(jié)構(gòu)物的長(zhǎng)期傾斜在線監(jiān)測(cè)。