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日本sodick-ft機(jī)床控制空氣滑塊XYθ軸舞臺

日本sodick-ft機(jī)床控制空氣滑塊XYθ軸舞臺
舞臺配備了索迪克制造的直線電機(jī)和直線放大器，用于索迪克制造的線切割機(jī)床和超精密加工中心。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-10-28
訪問量：126

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詳細(xì)介紹

日本sodick-ft機(jī)床控制空氣滑塊XYθ軸舞臺
日本sodick-ft機(jī)床控制空氣滑塊XYθ軸舞臺

舞臺配備了索迪克制造的直線電機(jī)和直線放大器，用于索迪克制造的線切割機(jī)床和超精密加工中心。

精密陶瓷

空氣滑塊XYθ軸舞臺

θ軸采用黑色科賽石

用于光化學(xué)系統(tǒng)裝置的反射率降低，以及舞臺機(jī)構(gòu)的定位精度提升。

低重心

通過獨(dú)特的機(jī)構(gòu)設(shè)計實(shí)現(xiàn)低重心結(jié)構(gòu)，固定部分質(zhì)量比大，移動部分重心驅(qū)動，提供高運(yùn)動性能。

低熱膨脹、輕量化

在臺面部分、滑塊部分采用科賽石，直線電機(jī)、磁鐵預(yù)加載采用低熱膨脹金屬。長時間運(yùn)行不會出現(xiàn)位移。

位置偏差5nm以下

使用自制直線電機(jī)和運(yùn)動控制器，與舞臺進(jìn)行優(yōu)化匹配。

舞臺規(guī)格

外形尺寸：W600mm × D550mm × H235mm（陶瓷部件尺寸）
總重量：約104kg（陶瓷結(jié)構(gòu)部件+直線電機(jī)）
移動部分質(zhì)量：

θ軸：約14kg
X軸：約19kg
Y軸：約35kg
床身部分：約36kg

θ軸規(guī)格：

材料：黑色科賽石（熱膨脹率1×10??以下）
外形尺寸：300×300
精度：平面度2μm以下、位置偏差：5nm以下

行程：

X軸：最大120mm
Y軸：最大160mm
θ軸：±4mm

垂直方向直線度：

X軸：0.5μm / 100mm以下
Y軸：0.5μm / 100mm以下

水平方向直線度：

X軸：0.5μm / 100mm以下
Y軸：0.5μm / 100mm以下

垂直度：0.5μm以下
平面度：

X軸浮上時：5μm / 非浮上時：3μm以下
Y軸浮上時：5μm / 非浮上時：3μm以下

進(jìn)給速度：0.1m / sec·加速度0.25m / sec2
舞臺位置偏差：P-P：5nm以下 / σ:1nm以下
位置檢測方式：

X軸：海德漢制造的直線編碼器（上軸）
Y軸：海德漢制造的直線編碼器（下軸）

精度測量環(huán)境：

溫度：23℃±1℃
濕度：50~60%

科賽石：

熱膨脹系數(shù)：0.1×10??℃（20~25℃）
比重：2.5

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