Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS管材料 特點介紹

TECATRON CMP natural是一種未填充PPS塑料 (聚苯硫醚)，專門針對CMP研磨環(huán)應(yīng)用而優(yōu)化，因此是恩欣格半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品系列中的一員。

TECATRON CMP natural材料具有的性能，相比標(biāo)準(zhǔn)PPS聚合物，在用作CMP研磨環(huán)時能減少微劃痕和晶圓級缺陷。

材料選擇的關(guān)鍵挑戰(zhàn)是CMP研磨環(huán)材料性能的微小差異將影響襯墊凸起的形狀。

這種改變將導(dǎo)致不同數(shù)量的襯墊碎片，并影響碎片夾帶的程度，進而對CMP工藝的整體性能產(chǎn)生重大影響。

研究表明，TECATRON CMP在一定程度上磨損研磨墊，因此研磨墊粗糙度得到改善，從而提高了材料的去除率，同時也減少了缺陷。

Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS管材料 規(guī)格參數(shù)

與恩欣格所有半導(dǎo)體級材料一樣，TECATRON CMP natural管材的生產(chǎn)符合半導(dǎo)體的精確復(fù)制要求 (也稱為精確復(fù)制或CE)，與工業(yè)級PPS相比，它的質(zhì)量控制更為嚴格。

與標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)級PPS塑料相比，額外的質(zhì)量控制和措施降低了材料的雜質(zhì)風(fēng)險，改善了其內(nèi)部應(yīng)力和尺寸穩(wěn)定性。

恩欣格公司不僅優(yōu)化了材料特性，還開發(fā)了特殊管材尺寸，以便更好地適應(yīng)CMP研磨環(huán)的典型尺寸，從而減少加工過程中的浪費和降低成本。

例如，與外徑360/內(nèi)徑290毫米傳統(tǒng)尺寸相比，使用外徑350毫米/內(nèi)徑300毫米尺寸的管材可以節(jié)省27%的材料成本。