日本mitaka非接觸式表面粗糙度快速測量裝置 PF系列 特點介紹

通過使用可實現(xiàn)指數(shù)測量速度提高 50 倍的掃描 AF 功能和高精度自動 XY 工作臺，我們實現(xiàn)了數(shù)十毫米大范圍內(nèi)的高速測量，測量精度達(dá)到亞微米級。

非常適合測量無法使用截面曲線檢測到的精密加工零件的翹曲、成型產(chǎn)品的缺陷形狀以及摩擦學(xué)中磨損和劃痕的定量評估。

使用半徑為R0.5μm的激光探頭和高精度XY平臺，我們可以直接測量數(shù)十毫米的范圍，測量精度為亞微米級。

高速掃描自動對焦功能可實現(xiàn)廣域/高速測量。

以前需要 1 小時 20 分鐘的測量時間現(xiàn)在只需 6 分鐘。

高靈敏度自動對焦傳感器可捕獲表面的輕微反射光。能夠直接精確測量陡坡和臺階。

日本mitaka非接觸式表面粗糙度快速測量裝置 PF系列 規(guī)格參數(shù)

一邊在測量畫面上監(jiān)視工件一邊進(jìn)行測量

觀察并測量。通過簡單的操作即可測量高度。

通過載玻片的一鍵操作，您可以輕松地在用于觀察的低倍率鏡頭和用于測量的高倍率鏡頭之間切換。

測量概覽

PF-60 由用于 Z 軸高度測量的自動對焦 (AF) 顯微鏡和用于掃描的高精度 XY 平臺組成。

使用AF顯微鏡測量高度方向的位置，通過在XY和平臺上移動工件，捕獲XYZ坐標(biāo)值并測量形狀。

掃描XY平臺

由于系統(tǒng)使用高精度XY平臺讀取坐標(biāo)軸，因此可以在可移動范圍（60mm x 60mm）內(nèi)連續(xù)測量。由于沒有視野范圍等測量精度，因此不需要連接測量數(shù)據(jù)，可以進(jìn)行大范圍的高精度測量。

點聚焦型

用于高度測量的AF顯微鏡內(nèi)置的激光沿上圖紅線所示的光路穿過物鏡，在測量工件表面形成圖像，作為半徑為0.5的激光探頭微米。

激光探頭從工件表面反射的光再次穿過物鏡并在 AF 傳感器上形成圖像，但當(dāng)激光探頭離開焦點位置時，AF 傳感器上的光斑位置也會發(fā)生變化。AF傳感器實時檢測光斑的位置位移，并通過操作AF軸機(jī)構(gòu)定位AF顯微鏡，使光斑始終以傳感器為中心。