日本technomu翹曲測量機(jī)XY軸門型非接觸式 TCS2100/TCS3100 特點(diǎn)介紹

使用激光位移傳感器，將工件固定

，在傳感器移動的同時，

以非接觸方式高精度測量工件表面高度方向的位移量，并

通過下式計算翹曲量：專用軟件。

待測量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產(chǎn)品或透明玻璃。

這是自動判定作品合格與否的檢查機(jī)。

日本technomu翹曲測量機(jī)XY軸門型非接觸式 TCS2100/TCS3100 規(guī)格參數(shù)

? 以低成本實(shí)現(xiàn)高精度測量 

 ? 高速XY平臺，數(shù)據(jù)采集速度快 

 ? 由于是非接觸式，因此無需擔(dān)心損壞測試對象。 

 ? 被測物體的影響很小 

 ? 可以測量從晶圓到研磨金屬產(chǎn)品或透明玻璃的任何物體 

 ? 底座采用石材面板，可最大限度地減少老化。 

 ? 多種測量模式快速測量 

 ? 通過登記工件的判斷基準(zhǔn)值，可以自動判斷OK或NG。 

 ? 我們將根據(jù)工件制作測量臺等（請咨詢我們）。 

  ? 測量面積：200×200mm、300×300mm、其他按要求 

  ? 測量方式：XY掃描法 

  ? 可用的激光位移計：三角測量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸 

  ? 分辨率：~0.001μm（最大） 

芯片的彎曲度測量不銹鋼、鈦、鋁、鐵板等金屬板的翹曲測量磨削加工品的翹曲測量樹脂成型品、橡膠加工品等翹曲測定主要適用于方形的測量對象物