日本technomu旋轉(zhuǎn)式平面測量機(jī)檢測速度快 TFL3100 特點(diǎn)介紹

使用激光位移傳感器，

固定工件的工作臺旋轉(zhuǎn)，以非接觸方式高精度測量工件表面高度

方向，并使用專用軟件計(jì)算平面度。

圓形平板適合作為待測物體。

甚至可以測量磨削的金屬產(chǎn)品或玻璃等透明物體。

這是自動判定作品合格與否的檢查機(jī)。

日本technomu旋轉(zhuǎn)式平面測量機(jī)檢測速度快 TFL3100 規(guī)格參數(shù)

? 以低成本實(shí)現(xiàn)高精度測量 

 ? 由于測量速度快，適合檢查所有批量生產(chǎn)的產(chǎn)品。 

 ? 由于是非接觸式，因此無需擔(dān)心損壞測試對象。 

 ? 被測物體的影響很小 

 ? 可以測量從晶圓到研磨金屬產(chǎn)品或透明玻璃的任何物體 

 ? 通過登記工件的判斷基準(zhǔn)值，可以自動判斷OK或NG。 

 ? 我們將根據(jù)工件制作測量臺等（請咨詢我們）。 

  ? 測量面積：2英寸至12英寸以上 

  ? 測量方式：旋轉(zhuǎn)掃描法 

  ? 可用的激光位移計(jì)：三角測量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸 

  ? 分辨率：~0.001μm（最大） 

以低價(jià)格實(shí)現(xiàn)高精度測量測量速度很快。因?yàn)槭欠墙佑|的，所以不用擔(dān)心損壞檢查對象。測量對象的影響非常小。實(shí)現(xiàn)高精度的面擺精度照片的機(jī)型雖然測量對象物在φ100左右，但可根據(jù)對象物形狀制作