日本日酸TANAKA超高純度壓力調(diào)節(jié)器高壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300 特點(diǎn)介紹

S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施電解研磨，實(shí)現(xiàn)了的水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內(nèi)置過濾器，減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測(cè)試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。

●STV2300系列作為一次高壓用中流量機(jī)型，廣泛用于氣缸箱等一次減壓設(shè)備。

●作為腐蝕性氣體使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。

日本日酸TANAKA超高純度壓力調(diào)節(jié)器高壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300 規(guī)格參數(shù)

使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調(diào)壓手柄:SUS316L SUS316L、氟樹脂C3604ABS樹脂、C3604

入口側(cè)最高使用壓:出口側(cè)最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部表面粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa1.0MPa400L/min（無(wú)）（P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2GAS）-5～40°C1.7kg（2端口）、2.1kg（4端口）20μmRa0.25μm（可選:Ra0.1μm）1/4"1.3×10-11Pa m3/sec以下