日本e-yamato超高純調(diào)壓閥分析儀壓力調(diào)節(jié)器 SRQ-3HL/SRQ-3LL 特點介紹

高鈍度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應(yīng)。

消除了滑動部，抑制了微粒的產(chǎn)生。采用波形隔膜，實現(xiàn)壓力高靈敏度。

外部硅片采用奧甲基硅片。

流動方向也可制作左側(cè)入口（左高壓）型。

日本e-yamato超高純調(diào)壓閥分析儀壓力調(diào)節(jié)器 SRQ-3HL/SRQ-3LL 規(guī)格參數(shù)

SRQ-3HL

SRQ-3LL

一次側(cè)壓力（MPa）

1~154

2~20

0.7~3

二次倒使用壓力（MPa）

0.2~0.99

0.2~0.8

使用溫度（度C）

-10~40（股計溫度:-10~7攝氏度）1/2

外部響應(yīng)量（Pam/sec）

螺紋接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下

接氣主本體

SUS316L

要部材質(zhì)材算配號分離片

SUS316L

諾科脫明井材

PCTFE

（P1=20MPa型:PEEK）

PTFE

是P.476其他

SUS316L

過濾器粗糙度

40μm

量(kg)

2.3

2.3

標準流量

g/minio.e

1300(P=15MPa.Pe=0.8MPa)

1000(P)=3MPa.Pe=0.8MPa)

最大流量

8/min(om.N)

1600(P:=15MPa.P2=0.8MPa)

1300(P)=3MPa.Pz=0.8MPa)