山田光學(xué)YAMADA高輝度鹵素光源裝置表面檢查燈YP-150I/YP-250I用途有哪些

更新時(shí)間：2024-08-30

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這是一種光源裝置，通過(guò)使用用于檢查 Si 晶圓和玻璃表面上的劃痕的照明光源提供 400,000Lux（30Φ）或更高的照明，可以觀察到細(xì)微的劃痕。

日本YAMADA山田半導(dǎo)體檢查燈產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、可照亮樣品表面400,000Lx以上。

2、光源采用鹵素?zé)?，色溫高，照度不均小，光線(xiàn)極其穩(wěn)定銳利。

3、采用冷鏡，熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。

4、兩級(jí)切換機(jī)構(gòu)，一鍵實(shí)現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。

YP-150I 照度范圍：30mmφ

YP-250I 照度范圍：60mmφ

高輝度鹵素光源裝置 YP-150I 表面檢查燈 YP-250I

高強(qiáng)度鹵素光源裝置

超精密平面檢測(cè)的理想選擇！通過(guò)驚人的照明，可以檢測(cè)小于 0.2 μm 的缺陷。

“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置，用于檢測(cè)

最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等，是半導(dǎo)體加工過(guò)程中勞動(dòng)強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板

樣品表面的照度可超過(guò) 400,000 Lx。

另外，由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗撸?/span>

光照不均勻的情況很少，光照***穩(wěn)定銳利。

姊妹機(jī)“YP-250I"也可用于 8 英寸。

[特點(diǎn)]

■ 光源采用鹵素?zé)?/span>

■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

請(qǐng)用于超精密平面檢測(cè)！

高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測(cè)劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。

采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗?，減少照明不均，照明***穩(wěn)定銳利。

此外，本機(jī)為“YP-150I"的姊妹機(jī)，有螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型可供選擇，可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行使用。

【特點(diǎn)】

■ 可照射400,000 Lx以上的樣品表面

■ 可選擇螺旋槳式和風(fēng)道式

■ 使用冷鏡，熱影響是傳統(tǒng)的1/3

■ 高照度觀察和低照度照度觀察是一鍵式可以

■ 8inch 兼容

[照明范圍]

■ YP-150I… 照度范圍 φ30

■ YP-250I… 照度范圍 φ60